啟睿新材料可提供各類化合物陶瓷靶材和鍍膜材料，產(chǎn)品包含氧化物、氟化物、氮化物、碳化物、硼化物、硫化物、硅化物、硒化物、碲化物、磷化物以及各類混合摻雜物，純度99.5%-99.999%，適合磁控濺射鍍、熱蒸鍍、電子束蒸鍍，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各類半導(dǎo)體行業(yè)、太陽能光伏光熱行業(yè)、建筑、裝飾、汽車、平面顯示、LCD、LED、集成電路，元器件、磁記錄、裝飾、工具鍍膜、航空航天、軍工、科研等領(lǐng)域。
啟睿新材料提供各種不同規(guī)格的化合物及陶瓷靶材（平面靶、多弧靶、旋轉(zhuǎn)靶及其它異形靶材），純度3N~5N，尺寸和成份比例均可按您的要求定制，歡迎咨詢。
以下是客戶經(jīng)化合物及陶瓷靶材，如有陶瓷及化合物靶材需要請來電或在線咨詢。
| 氧化物靶材 | |||
| 氧化鋁(Al2O3) | 四氧化三鐵Fe3O4 | 鎳酸鑭(LaNiO3) | 氧化鈧(Sc2O3) |
| 氧化鋅鋁(AZO) | 氧化錫氟(FTO) | 鐵酸鑭(LaFeO3) | 鈦酸鍶(SrTiO3) |
| 氧化錫銻(ATO) | 氧化鎵(Ga2O3) | 錳酸鑭(LaMnO3) | 釕酸鍶(SrRuO3) |
| 氧化鉍(Bi2O3) | 氧化鎵鋅(GZO) | 氧化鎂(MgO) | 錳酸鍶(SrMnO3) |
| 鈦酸鉍(BiTiO3) | 氧化釓(Gd2O3) | 氧化鉬(MoO3) | 二氧化鈦(TiO2) |
| 鈦酸鋇(BaTiO3) | 二氧化鉿(HfO2) | 氧化鈮(Nb2Ox) | 五氧化三鈦Ti3O5 |
| 氧化鈰(CeO2) | 氧化鈥(Ho2O3) | 氧化鎳(NiO) | 氧化鉭(Ta2O5) |
| 氧化鉻(Cr2O3) | 氧化銦(In2O3) | 氧化釹(Nd2O3) | 氧化鋱(Tb4O7) |
| 氧化鈷(CoO) | 氧化銦錫(ITO) | 氧化鉛(PbO) | 氧化銩(Tm2O3) |
| 氧化銅(CuO) | 氧化銦鋅(IZO) | 鋯鈦酸鉛(PZT) | 二氧化釩(VO2) |
| 氧化亞銅(Cu2O) | 氧化銦鎵鋅IGZO | 氧化鐠(Pr6O11) | 三氧化二釩V2O3 |
| 氧化鉺(Er2O3) | 氧化鑭(La2O3) | 一氧化硅(SiO) | 五氧化二釩V2O5 |
| 氧化銪(Eu2O3) | 鑭鍶鈷氧(LSCO) | 二氧化硅(SiO2) | 三氧化鎢(WO3) |
| 三氧化二鐵Fe2O3 | 鋁酸鑭(LaAl2O3) | 氧化釤(Sm2O3) | 氧化釔(Y2O3) |
| 氧化釔鋯(YSZ) | 釔鋇銅氧YBCO | 氧化鋅(ZnO) | 氧化鋯(ZrO2) |
| 氧化鋅錫(ZTO) | |||
| 氟化物靶材 | ||||
| 氟化鋁(AlF3) | 氟化鏑(DyF3) | 氟化釹(NdF3) | 氟化鐠(PrF3) | 氟化釔(YF3) |
| 氟化鋇(BaF2) | 氟化鋰(LiF) | 氟化鈉(NaF) | 氟化鍶(SrF3) | 氟化鋅(ZnF3) |
| 氟化鈣(CaF2) | 氟化鑭(LaF3) | 冰晶Na2AlF6 | 氟化釤(SmF3) | |
| 氟化鈰(CeF3) | 氟化鎂(MgF2) | 氟化鉀(KF) | 氟化鐿(YbF3) | |
| 氮化物靶材 | ||||
| 氮化鋁(AlN) | 氮化鉿(HfN) | 氮化硅(Si3N4) | 氮化鈦(TiN) | 氮化鋯(ZrN) |
| 氮化硼(BN) | 氮化鈮(NbN) | 氮化鉭(TaN) | 氮化釩(VN) | |
| 碳化物靶材 | ||||
| 碳化硼(B4C) | 碳化鈮(NbC) | 碳化鉭(TaC) | 碳化鎢(WC) | 碳化鋯(ZrC) |
| 碳化鉿(HfC) | 碳化鎳(NiC) | 碳化鈦(TiC) | 碳化鎢鈷(WC+Co) | |
| 碳化鉬(MoC) | 碳化硅(SiC) | 碳氮化鈦(TiCN) | 碳化釩(VC) | |
| 硼化物靶材 | |||
| 二硼化鉻(CrB2) | 硼化鐵(FeB) | 硼化鉭(TaB) | 二硼化鈦(TiB2) |
| 二硼化鉿(HfB2) | 六硼化鑭(LaB6) | 二硼化鋯(ZrB2) | |
| 硫化物靶材 | ||||
| 硫化鎘(CdS) | 硫化鐵(FeS) | 硫化錳(MnS) | 硫化鉭(TaS) | 硫化鎂(MgS) |
| 硫化銅(CuS) | 硫化鉛(PbS) | 硫化鈮(NbS) | 硫化鎢(WS2) | 硫化銻(Sb2S3) |
| 硫化鈰(Ce2S3) | 硫化鉬(MoS2) | 硫化銦(In2S3) | 硫化鋅(ZnS) | |
| 硅化物靶材 | ||||
| 硅化鉻(CrSi) | 硅化鎂(MgSi) | 硅化鉭(TaSi2) | 硅化鎢(WSi2) | 硅化鋯(ZrSi2) |
| 硅化鉬(MoSi2) | 硅化鎳(NiSi) | 硅化鈦(TiSi2) | 硅化釩(VSi) | |
| 硒化物靶材 | ||||
| 硒化鉍(Bi2Se3) | 硒化鉻(CrSe) | 硒化鉬(MoSe2) | 硒化鎵(Ga2Se3) | 硒化鎢(WSe2) |
| 硒化銅(Cu2Se) | 硒化鉛(PbSe) | 硒化銦(In2Se3) | 硒化鍺(GeSe2) | 硒化錫(SnSe) |
| 硒化鎘(CdSe) | 硒化銻(Sb2Se3) | |||
| 碲化物靶材 | |||
| 碲化鎘(CdTe) | 碲化鉛(PbTe) | 碲化鍺(GeTe) | 碲化鍺銻(GST) |
| 碲化鉍(Bi2Te3) | 三碲化二銻Sb2Te3 | 三碲化七銻Sb7Te3 | |
| 銻化物靶材 | ||||
| 銻化鋁(AlSb) | 銻化銦(InSb) | 銻化鎵(GaSb) | 銻化鋅(ZnSb) | |
| 混合摻雜物靶材 | ||||
| 氧化銦鎵鋅(IGZO) | 鑭鍶錳氧(LSMO) | 氧化銦錫(ITO) | 氧化釔鋯(YSZ) | 氧化錫銻(ATO) |
| 鑭鍶鈷氧(LSCO) | 碳化鎢鈷(WC+Co) | 氧化銦鋅(IZO) | 釔鋇銅氧(YBCO) | 銅鋅錫硫(CZTS) |
| 釔鋇銅氧(YBCO) | 碳化鎢鎳(WC+Ni) | 氧化鋅錫(ZTO) | 釔鐵石榴石(YIG) | 銅鋅錫硒硫CZTSS |
| 支持各類二元?三元?多元化合物摻雜靶定制,成分比例?尺寸均可按要求生產(chǎn) | ||||
| 鐵電/鋰電池用靶材 | ||
| 鈷酸鋰 LiCoO2 | 錳鎳酸鋰 LiNi0.5Mn1.5O3 | 磷酸鐵鋰 LiFePO4 |
| 富鋰鈷酸鋰 Li(1+x)CoO2 | 富鋰錳酸鋰 Li(1+x)Mn2O4 | 鈦酸鋰 Li4Ti5O12 |
| 鋁摻雜鈷酸鋰 AlLiCoO2 | 鋁摻雜錳酸鋰 LiMn2O4+Alx | 磷酸鈦鋰 LiTi2(PO4)3 |
| 錳酸鋰 LiMn2O4 | 磷酸鋰 Li3PO4 | 磷酸硅鋰 LiSiPO4 |
| 鈦酸鋇BaTiO3 | 鈦酸鍶SrTiO3 | 鈦酸鉍BiTiO3 |
| 鑭鍶鈷氧 LSCO | 鑭鈣錳氧 LCMO | 鈷酸鋰 LiCo2O4 |
| 鋯鈦酸鉛PZT | 氧化硼摻磷酸鋰 Li3PO4:B2O3 | 鈦酸鑭鋰 Li0.35La0.57TiO3 |
| 鑭鋯鋰氧 LLZO | 鑭鍶錳氧 LSMO | 鐵酸鉍BiFeO3 |
| 鈦酸鍶鋇 BaSrTiO3 | ||
| 各類鐵電?壓電?超導(dǎo)?壓敏?陶瓷電容靶材均可定制 | ||
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